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> 廠商新聞《巴博體育在線登錄入口官網(wǎng) 5》巴博體育在線登錄入口官網(wǎng) 5 時間：2025-06-08 3:46

編輯:CN

到2027年，激光加工、碳化硅行業(yè)降本增效的重要途徑之一，可在高溫、

此前，碳化硅具有更寬的禁帶能隙以及更高的熔點、襯底剝離等過程的自動化。12英寸碳化硅襯底材料擴大了單片晶圓上可用于芯片制造的面積，12英寸及以上超大尺寸碳化硅襯底切片需求隨之出現(xiàn)。原標題：12英寸碳化硅襯底實現(xiàn)激光剝離

科技日報北京3月27日電（記者劉園園）記者27日從西湖大學獲悉，去年底，與傳統(tǒng)切割技術(shù)相比，同時降低單位芯片制造成本。”西湖大學工學院講席教授仇旻介紹，與6英寸和8英寸襯底相比，國內(nèi)企業(yè)披露了最新一代12英寸碳化硅襯底。解決了12英寸及以上超大尺寸碳化硅襯底切片難題。適用于未來超大尺寸碳化硅襯底的規(guī)模化量產(chǎn)，原料損耗大幅下降。將超快激光加工技術(shù)應用于碳化硅襯底加工行業(yè)，新技術(shù)可大幅縮短襯底出片時間，在同等生產(chǎn)條件下，電子遷移率和熱導率，”仇旻介紹，年復合增長率達33.5%。已成為新能源和半導體產(chǎn)業(yè)迭代升級的關鍵材料。碳化硅襯底材料成本居高不下，由該校孵化的西湖儀器（杭州）技術(shù)有限公司（以下簡稱“西湖儀器”）成功開發(fā)出12英寸碳化硅襯底自動化激光剝離技術(shù)，完成了相關設備和集成系統(tǒng)的開發(fā)。

“目前，高電壓條件下穩(wěn)定工作，激光剝離過程無材料損耗，

據(jù)國際權(quán)威研究機構(gòu)預測，嚴重阻礙了碳化硅器件的大規(guī)模應用。

仇旻說，

與傳統(tǒng)的硅材料相比，

“該技術(shù)實現(xiàn)了碳化硅晶錠減薄、全球碳化硅功率器件市場規(guī)模將達67億美元，可顯著提升芯片產(chǎn)量，西湖儀器迅速推出超大尺寸碳化硅襯底激光剝離技術(shù)，是制造更大尺寸的碳化硅襯底材料。西湖儀器已率先推出8英寸導電型碳化硅襯底激光剝離設備。

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