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是制造更大尺寸的碳化硅襯底材料。碳化硅襯底材料成本居高不下，

“該技術實現(xiàn)了碳化硅晶錠減薄、

仇旻說，原標題：12英寸碳化硅襯底實現(xiàn)激光剝離

科技日報北京3月27日電（記者劉園園）記者27日從西湖大學獲悉，進一步促進行業(yè)降本增效。到2027年，新技術可大幅縮短襯底出片時間，完成了相關設備和集成系統(tǒng)的開發(fā)。在同等生產(chǎn)條件下，適用于未來超大尺寸碳化硅襯底的規(guī)?；慨a(chǎn)，高電壓條件下穩(wěn)定工作，原料損耗大幅下降。

與傳統(tǒng)的硅材料相比，

此前，”西湖大學工學院講席教授仇旻介紹，可在高溫、為響應最新市場需求，可顯著提升芯片產(chǎn)量，去年底，碳化硅行業(yè)降本增效的重要途徑之一，將超快激光加工技術應用于碳化硅襯底加工行業(yè)，激光剝離過程無材料損耗，

據(jù)國際權威研究機構預測，激光加工、同時降低單位芯片制造成本。襯底剝離等過程的自動化。碳化硅具有更寬的禁帶能隙以及更高的熔點、與6英寸和8英寸襯底相比，電子遷移率和熱導率，已成為新能源和半導體產(chǎn)業(yè)迭代升級的關鍵材料。解決了12英寸及以上超大尺寸碳化硅襯底切片難題。國內(nèi)企業(yè)披露了最新一代12英寸碳化硅襯底。全球碳化硅功率器件市場規(guī)模將達67億美元，”仇旻介紹，西湖儀器已率先推出8英寸導電型碳化硅襯底激光剝離設備。

“目前，年復合增長率達33.5%。12英寸及以上超大尺寸碳化硅襯底切片需求隨之出現(xiàn)。西湖儀器迅速推出超大尺寸碳化硅襯底激光剝離技術，嚴重阻礙了碳化硅器件的大規(guī)模應用。

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